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DENOMINACIÓN

Unidad de funcionalización y tratamientos térmicos superficiales mediante láseres de pulsos ultracortos e interferencia

DESCRIPCIÓN

La unidad de funcionalización está formada por dos láseres que dan un servicio conjunto de procesos con láseres de femtosegundos:
1. Un láser Coherent Libra HE integrado en una estación de mecanizado de 3 ejes. Puede usar pulsos ultracortos de longitud de onda 800nm, 400nm y 266nm.
2. Un láser Amplitude Satsuma integrado en una estación de 3 ejes y scanner, para sumar un total de 5 ejes. Puede usar pulsos ultracortos de 1030nm y 515nm.

Se disponen de tres diferentes sistemas de gestión de haz para enviar el láser a la muestra con las condiciones deseadas:
1. Un sistema basado en mesas XYZ con objetivos de microscopio intercambiables.
2. Un sistema galvanométrico especialmente adaptado para láseres ultrarrápidos.
3. Un sistema de interferencia de múltiple haz para definir geometrías de menor tamaño que la longitud de onda.
La unidad se encuentra en un ambiente limpio compatible con procesos microelectrónicos de sala limpia.

Además, se cuenta con capacidad de hacer procesos láser en atmósferas controladas de gases inertes.

EQUIPOS Y COMPONENTES MÁS DESTACADOS

Estación de mecanizado de 3 ejes +

Estación de mecanizado de 3 ejes

Estación de microprocesado de materiales basada en láser de femtosegundos (estación de 5 ejes con sistema independiente de gestión de haz) +

Estación de microprocesado de materiales basada en láser de femtosegundos (estación de 5 ejes con sistema independiente de gestión de haz)

Laser Amplitude Satsuma +

Laser Amplitude Satsuma

Laser Libra HE +

Laser Libra HE

Sistema de generación de patrones por interferencia laser +

Sistema de generación de patrones por interferencia laser

SERVICIOS OFRECIDOS POR EL ACTIVO

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607

Desarrollo de procesos de estructuración superficial (decenas de nanómetros a micras)

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610

Generación de microsensores embebidos

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614

Procesos de depósito de películas delgadas y gruesa mediante PCV,CVD y láser.

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608

Procesos de micromecanizado y microcorte de muy alta precisión con láseres de femtosegundos

ENTIDAD QUE GESTIONA EL ACTIVO

CEIT

,

Persona de contacto:

Yago Olaizola Izquierdo

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